适用于微电子工业液体工艺流体过滤及高颗粒含量气体工艺过滤等.
MicroGF系列滤芯采用超细玻璃纤维滤材与先进的热熔焊技术熔封制造. 树酯固结超细玻璃纤维滤材具有固定孔结构,可有效防止截留污染物卸载与介质脱落。
适用于微电子工业中光刻抗蚀剂, 各种酸碱, 有机溶剂, 去离子水等
eFlon 系列滤芯采用亲水型聚四氟乙烯 (PTFE)滤膜和聚丙烯无纺支撑材料, 打褶结构并 采用先进的热熔焊技术熔封制
适用于无菌包装用洁净气体及无菌输送用压缩空气过滤等
eFlon S 系列滤芯采用疏水型聚四氟乙烯(PTFE) 滤膜和聚丙烯无纺支撑材料, 打褶结构并采用先进的热 熔焊技术熔封制造.
适用于微电子工业去离子水预过滤
eHF系列大流量过滤器滤芯采用6”大直径结构和打褶形式的聚丙烯滤材和支撑材料, 过滤面积大和容污能力强, 可使过滤器和过滤系统具有流量高,占地空间小, 滤芯更换方便, 投资省等特点.
用于微电子工业去离子水预过滤等
RTM 系列大流量过滤器滤芯采用6.5”大直径结构和打褶形式的聚丙烯滤材和支撑材料, 具有很高的过滤面积和容污能力, 可使过滤系统具有在低占用空间的同时具有很高的过滤流量.
适用于微电子工业去离子水预过滤等.
eHFM系列大流量过滤器滤芯采用6” 大直径结构和打褶形式的聚丙烯滤材和支撑材料, 过滤面积大和容污能力强。有多种长度滤芯可供选择,与可调节法兰配合使用替代袋式过滤器,可大幅改善和提高过滤效率。
适用于微电子工业去离子水预过滤等.
eHFN系列大流量过滤器滤芯采用大直径聚丙烯热熔喷超细纤维缠结构成, 多层不同精度滤材变结构, 由内而外逐层精度分级过滤,增加了滤芯容污空间和使用寿命.
适用于微电子工业去离子水预过滤等.
RHF系列大流量过滤器滤芯采用6” 大直径结构和打褶形式的聚丙烯滤材和支撑材料, 具有很高的过滤面积和容污能力, 可使过滤系统具有在低占用空间的同时具有很高的过滤流量.
适用于微电子工业光刻抗蚀剂、各种酸碱、有机溶剂过滤, HF和BOE循环过滤. 去离子水的预过滤和终过滤,清洗循环过滤等.
MicroPES Ex 系列滤芯采用高非对称性聚醚砜(PES)亲水性滤膜打褶结构和先进的热熔焊技术熔封制造.高流量,低压力降.标准接口,安装便捷快速.
适用于微电子工业中光致抗蚀剂, 有机溶剂, 气体, 去离子水预过滤等
MicroPP Plus 系列过滤器滤芯由纯聚丙烯支撑结构和大面积聚丙烯打褶滤材, 采用先进的热熔焊技术熔封制造.不含任何粘合剂和表面活性剂.
微电子工业用于光刻抗蚀剂, 各种酸碱, 有机溶剂等, 去离子水的预过滤和终过滤
MicroPES Plus 系列滤芯采用高非对称性聚醚砜(PES)滤膜和打褶结构, 采用先进的热熔焊技术熔封制造。不含任何粘合剂和表面活性剂.